Cu和Pd在TiN表面的置换析出行为及其热力学分析

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吴全兴

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篇名	Cu和Pd在TiN表面的置换析出行为及其热力学分析
来源期刊	稀有金属快报	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2006,（11）	所属期刊栏目	国外工艺技术集锦
研究方向		页码范围	44-45
页数		分类号	TG1
字数	2732字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1674-3962.2006.11.014