新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究

• 作者: 唐力强 张宾 李民强 王英先 陈建群
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜 电容式压力传感器 感压元件
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.06.013

摘要

采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器, 重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究.详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试.试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0 %,迟滞误差小于0.5 %,测试电容和参考电容温度系数近乎一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建群		3	19	2.0	3.0
2	唐力强		2	11	1.0	2.0
3	李民强		2	13	2.0	2.0
4	张宾		1	10	1.0	1.0
5	王英先		1	10	1.0	1.0