射频磁控溅射Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜表层的XPS研究

• 作者: 冷文建 唐章东 廖家轩 张继华 杨传仁 符春林 陈宏伟
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: BST 表层 晶化 钙钛矿结构 XPS
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 713-718
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.032

摘要

用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si基体上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究BST薄膜表层在常规晶化和快速晶化条件下的结构特征.结果表明,常规晶化时,BST薄膜表层约3～5nm厚度内含有非钙钛矿结构的BST,随着温度的升高该厚度增加;快速晶化时,该厚度减薄至1nm内,随着温度的升高没有明显增加.元素的化学态分析结果表明,非钙钛矿结构的BST并非来自薄膜表面吸附的CO和CO2等污染物,而与表面吸附的其他元素(如吸附氧)对表层结构的影响有关.GXRD和AFM表明,致密的表面结构能有效的阻止表面吸附元素在BST膜体中的扩散,从而减薄含非钙钛矿结构层的厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	张继华	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	193	8.0	9.0
4	冷文建	电子科技大学微电子与固体电子学院	3	26	2.0	3.0
5	廖家轩	电子科技大学微电子与固体电子学院	22	106	7.0	8.0
6	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
7	唐章东	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	3	1.0	1.0