微机械电容式加速度传感器测试电路研究

• 作者: 杨苗苗 毋正伟 王军波 陈健 陈德勇 陈李
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度传感器 微弱电容检测 差分检测
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2421-2424
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.014

摘要

在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63 V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.