基于双晶片压电传感器特性分析

• 作者: 李伟
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 双晶片压电传感器 灵敏度特性 仿真分析
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.04.024

摘要

用模态分析法分析双晶片压电力、振动、位移传感器的位移特性及灵敏度特性,并给出灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系.其仿真分析结果对压电双晶片用于力、振动、位移等传感器的设计具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟		17	56	4.0	6.0