计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究

• 作者: 赵亚溥 郭建刚
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 旋转式纳电子机械致动器 Casimir力 吸合 稳定性 分叉 相图
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1645-1648,1651
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 3682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.088

摘要

分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵亚溥	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	25	551	10.0	23.0
2	郭建刚	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	4	7	2.0	2.0