真空封装的硅微陀螺仪

• 作者: 周百令 杨波
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微陀螺仪 自激驱动 接口线路
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 736-740
• 页数: 5页
• 分类号: U666.123
• 字数: 2681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2006.05.011

摘要

研究了一种硅微陀螺仪,为了提高品质因数,将其封装在Ф15.5 mm×6 mm的真空腔内.采用一种新方式实现了闭环自激驱动,该方式解耦了闭环驱动的相角和增益条件;优化设计了接口线路,消除了大部分耦合电容;推导开环检测时传递函数、静态灵敏度、带宽的表达式,并分析其影响因素.实验结果表明:驱动频率在1 h内相对变化量为0.000 22%;1 h内驱动幅度相对变化量为0.001 5%;标度因数为12 mV/(°·s-1),线性度为0.075 8%,陀螺输出信号噪声低于31.6 μV/Hz(1)/(2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程系	106	1086	17.0	23.0
2	杨波	东南大学仪器科学与工程系	74	553	13.0	19.0