RF MEMS器件驱动机制理论与分析

• 作者: 刘元安 南敬昌 黎淑兰
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 静电驱动 压电驱动 热驱动 磁驱动
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 416-419
• 页数: 4页
• 分类号: TN61
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2006.04.009

摘要

介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位.以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理.对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根据不同场合和不同参数要求,选择不同驱动机制的驱动器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘元安	北京邮电大学电信工程学院	192	1285	17.0	26.0
2	南敬昌	北京邮电大学电信工程学院	9	117	7.0	9.0
6	黎淑兰	北京邮电大学电信工程学院	19	164	8.0	12.0