BST/LSCO异质结构的研究

• 作者: 李言荣 段珂瑜 秦文峰 陶伯万
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 无机非金属材料 La0.5Sr0.5CoO3 脉冲激光沉积法 外延生长 BST
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 55-57
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 2283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.05.016

摘要

利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/ BST/ LSCO多层膜结构.XRD谱发现,沉积温度在450～700℃均能得到高度(00 l)取向的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰宽FWHM =0.1°～0.2°;在LSCO薄膜上制备的BST介质膜具有良好的c轴取向和较高的表面平整度,其εr约为470,tgδ为0.036～0.060.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
2	陶伯万	电子科技大学微电子与固体电子学院	39	165	5.0	10.0
3	段珂瑜	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	3	1.0	1.0
4	秦文峰	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	63	3.0	6.0