扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究

• 作者: 刘益芳 孙道恒 王凌云
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺仪 梳齿驱动电极 隧道传感器
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 355-359
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2006.03.014

摘要

设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌云	厦门大学机电工程系	32	191	7.0	12.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	刘益芳	厦门大学机电工程系	15	50	3.0	6.0