基于MEMS技术的微型分光光度计

• 作者: 吴一辉 周连群 宣明 张平 李正刚 贾宏光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微硅片对准 微硅片狭缝 微型分光光度计 微小型光纤光谱仪 微光机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 990-997
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.1|O433.1
• 字数: 3569字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.06.012

摘要

研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计.采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证.同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式,并进一步分析因折射率引起光强的变化对吸光度的影响.实验结果表明,该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差0.01介质,同时参比介质的不同仅仅对A-C曲线产生平移,而对相关系数和斜率无任何影响,通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于0.999,说明所研制的基于MEMS技术的微型分光光度计具有高度显著线性相关性.