新一代二维通道电子倍增器的薄膜连续打拿极

• 作者: 付申成 吴奎 姜德龙 李野 王国政 田景全 端木庆铎 高延军
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道板 连续打拿极 低压化学气相沉积 二次电子发射
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 421-425
• 页数: 5页
• 分类号: TN146
• 字数: 2541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.03.028

摘要

概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)及其特点以及MCP的新发展;介绍了材料的二次发射特性,给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺.在此基础上,重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器--先进技术微通道板(AT-MCP)的薄膜连续打拿极制备新技术,给出了具体工艺和实验结果,示出了电镜照片和实验曲线,指出了新工艺的优点和发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田景全	长春理工大学理学院	24	327	8.0	17.0
2	高延军	长春理工大学理学院	10	90	5.0	9.0
3	李野	长春理工大学理学院	68	297	9.0	13.0
4	姜德龙	长春理工大学理学院	25	153	6.0	10.0
5	端木庆铎	长春理工大学理学院	56	241	8.0	12.0
6	王国政	长春理工大学理学院	51	208	8.0	11.0
7	付申成	长春理工大学理学院	15	78	5.0	8.0
8	吴奎	长春理工大学理学院	16	102	5.0	9.0