基于波长解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器的设计

• 作者: 戎华 王鸣 葛益娴 陈绪兴
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电技术 光纤传感器 Fabry-Perot干涉 MEMS 相位解调
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1875-1877
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.150

摘要

提出了一种新的压力传感器的设计,该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和波长解调理论测量压力.设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单,分辨率高的光纤MEMS压力传感器.阐述了传感器的工作原理,分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响.系统采用可调谐激光器进行信号访问,利用反射谱的相位变化完成信号解调.理论分析和模拟计算验证了传感器加工制作方案的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣	南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室	91	636	14.0	20.0
2	葛益娴	南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室	7	62	4.0	7.0
3	戎华	南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室	15	73	5.0	8.0
4	陈绪兴	南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室	6	56	5.0	6.0