铝电解电容器用高介电常数复合氧化膜的制备

• 作者: 冯哲圣 杨邦朝 郭洪蕾 陈金菊
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 铝电极箔 水解沉积 阳极氧化 高介电常数 Al-Ti复合氧化膜
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TB33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2006.02.014

摘要

用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,通过XPS分析Al-Ti复合氧化膜的成分及各元素的相对含量.监测铝电极箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,对复合氧化膜的介电常数进行理论计算,并测试铝电解电容器的容量及耐久性.结果表明:铝电极箔在含钛无机盐溶液中的最佳处理时间为10min,处理后的铝电极箔阳极氧化速率高于纯铝电极箔,Al-Ti复合氧化膜中的高介电常数相为TiO2.对16V/1000μF规格的铝电解电容器,形成Al-Ti复合氧化膜的样品,容量提高率为23%,且耐久性良好,复合氧化膜介电常数的理论计算值与实验结果较为一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
2	陈金菊	电子科技大学微电子与固体电子学院	36	309	11.0	16.0
3	冯哲圣	电子科技大学微电子与固体电子学院	44	541	13.0	22.0
4	郭洪蕾	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	38	2.0	2.0