微光信号探测对准技术

• 作者: 杨兴平 程建瑞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微光电信号 探测 光纤耦合 对准 光刻设备
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.09.002

摘要

通过对光栅对准原理、结构的分析,以及在光刻设备中的实际应用,探讨微弱光电信号探测对准技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程建瑞		4	11	2.0	3.0
2	杨兴平		2	8	2.0	2.0