小周期金属多层膜厚度评价

• 作者: 冯洁 路庆华
• 来源期刊: 分析测试学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 厚度测量 XRD
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: O72
• 字数: 4868字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2006.01.001

摘要

通过对3种小周期金属多层膜进行低角度X射线衍射分析,采用几种方法计算其单周期厚度及多层膜总厚度,还采用表面轮廓仪及原子力显微镜来评价多层膜的总厚度.通过比较这几种方法的测量结果,提出利用第一布喇格衍射主峰之后的衍射次级小峰来进行小周期多层膜厚度评价是简易可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路庆华	上海交通大学分析测试中心	58	456	10.0	19.0
2	冯洁		2	12	1.0	2.0