基于贝叶斯网络的PECVD故障诊断技术

• 作者: 赵英伟 路孟喜
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 故障诊断 贝叶斯网络 等离子体增强化学汽相淀积
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进的加工设备与材料)
• 页码范围: 180-182,193
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TN304.055
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.03.006

摘要

提出了贝叶斯网络技术在故障诊断中的一种应用,介绍了基于贝叶斯网络的故障诊断技术的基本概念和原理,分析了故障节点和维修节点之间相互作用的关系.应用GeNIe决策系统软件,以PECVD淀积台的真空系统为例,讲述了贝叶斯网络在半导体工艺设备故障诊断中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路孟喜	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	8	1.0	2.0
2	赵英伟	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	46	1.0	6.0