惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究

• 作者: 储茂友 沈剑韵 王星明 王赞海 赵鑫 郭奋
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射靶材 W/Ti合金靶材 扩散阻挡层 热压
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 688-691
• 页数: 4页
• 分类号: TG146
• 字数: 2567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2006.05.024

摘要

用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭奋	北京化工大学教育部超重力研究中心	98	1828	24.0	38.0
2	储茂友		25	211	10.0	14.0
3	王星明		24	157	9.0	12.0
4	赵鑫		4	54	3.0	4.0
8	王赞海		3	34	2.0	3.0