MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析

• 作者: 李昕欣 杨尊先
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 MEMS 高量程加速度传感器 阻尼效果 近似叠加理论
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 19-22,26
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.01.007

摘要

为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响.结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有振动渐突显,峰值电压增加;阻尼介质粘滞系数越大,其峰值电压越低;介质温度对器件输出特性影响不大.在常温空气介质中,过载保护曲面平移距离为0.5 μm时,阻尼比为0.24,近临界阻尼,输出电压高达77.9 mV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	杨尊先	福州大学电子科学与应用物理系	34	85	5.0	7.0