平面行星旋转均匀性的修正技术

• 作者: 罗晋 陈松林 马平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 数学
• 关键词: 厚度均匀性 修正技术 旋转 行星 平面 膜厚均匀性 光学薄膜 光学特性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 161-162
• 页数: 2页
• 分类号: O182.2

摘要

在光学镀膜中，镀膜面积越大，薄膜厚度均匀性就越难控制。膜厚均匀性不好，膜系特性将遭到严重破坏，不仅会导致元件不同位置上的光谱曲线发生很大的漂移，影响整个元件的光学特性，还会影响到元件上光强的分布，另外对元件的面形也会造成一定的影响。为提高大口径光学薄膜的厚度均匀性，文中介绍了一种用于平面行星旋转镀膜系统中的膜厚均匀性修正方法。通过多次实验表明，此方法极大地提高了大口径光学薄膜的膜厚均匀性。