基于 PSD 的高精度激光校准仪的设计

• 作者: 李育林 焦国华 胡宝文
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微位移测量 激光校准 位置敏感探测器 轴系校准
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TH741.4
• 字数: 2035字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.06.021

摘要

针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器 (PSD)的高精度激光校准的解决方法.在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性.回转式校准仪的偏移测量范围为±4 mm,分辨力为1.5 μm、精度为5.5 μm.可以广泛用于精确轴系校准和定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李育林	中国科学院西安光学精密机械研究所	39	492	12.0	21.0
2	胡宝文	中国科学院西安光学精密机械研究所	18	110	7.0	10.0