微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用

• 作者: 全保刚 岳双林 徐鹏 时成瑛 李俊杰 杨海方 王宗利 王强 罗强 金爱子 顾长志 黄阳
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 微纳米加工技术 人工纳米结构 纳米物理与器件
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳米加工技术专题
• 页码范围: 40-46
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 6169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.01.008

摘要

物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性,这正是纳米科技发展的基础之一.要想探索在纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段.微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术领域之一,是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础.本文根据几个不同的应用领域,介绍了微纳米加工技术在纳米物理与器件研究领域的应用.