热电偶传感器在半导体生产中的应用及误差分析

• 作者: 刘德军 向跃军 林小文
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散炉温度 热电偶传感器 测量误差 实际测温方法
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 设计·研究·分析
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 4995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2006.03.037

摘要

温度在半导体的生产中起着至关重要的作用.温度的检测和控制靠热电偶传感器,温度的准确不仅决定于测温的原理、热电偶传感器的类型、测量的设备,而且还决定于测试的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向跃军		2	2	1.0	1.0
2	刘德军		3	6	1.0	2.0
3	林小文		2	2	1.0	1.0