大口径反射镜面形控制技术

• 作者: 王震 罗晋 胡江川 陈松林 马平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 控制技术 反射镜 大口径 面形 神光Ⅲ原型装置 薄膜应力 使用性能 镀膜工艺
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 162
• 页数: 1页
• 分类号: TN248

摘要

在强激光系统中，薄膜应力是影响光学元器件甚至整个光学系统性能及可靠性的重要因素，过大的张应力或压应力都会引起薄膜表面变形，面形指标变差，极大地限制了光学薄膜的使用性能。目前神光Ⅲ原型装置要求大口径反射镜的反射波前小于1λ（P—V）。为了给原型装置提供高面形质量的大口径反射镜，开展了大口径反射镜面形控制技术攻关，着重从基片装夹方式、镀膜工艺及基片与工艺耦合方面进行研究。