薄膜系列实验的教学研究

• 作者: 孙超伦 林楠 熊永红 许巍 麦远棠
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 离子束溅射 原位动态电阻测量 扫描隧道显微镜
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2006.10.002

摘要

从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验.用离子束溅射制备金属薄膜,研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化,用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条件得到的薄膜的表面形貌特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊永红	华中科技大学物理系	38	228	7.0	13.0
2	麦远棠	华中科技大学物理系	2	8	2.0	2.0
3	孙超伦	华中科技大学物理系	4	23	3.0	4.0
4	林楠	华中科技大学物理系	4	22	2.0	4.0
5	许巍	华中科技大学物理系	4	41	3.0	4.0