不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究

• 作者: 尉伟 张耀锋 王勇 王建平 范乐 蒋道满
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiN薄膜 直流溅射 放气率
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 新一代同步辐射技术及应用
• 页码范围: 161-164
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.92|TG17
• 字数: 2642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2006.03.001

摘要

介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能.结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	507	5142	33.0	48.0
2	蒋道满	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	49	4.0	6.0
3	张耀锋	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	4	20	3.0	4.0
4	尉伟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	21	104	7.0	9.0
5	王建平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	1069	13.0	31.0
6	范乐	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	56	6.0	7.0