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摘要:
开展了扫描控制工艺研究,找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素,从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化,改进了扫描工艺,有效提高了镀膜蒸发的稳定性。
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文献信息
篇名 电子枪扫描控制技术
来源期刊 中国工程物理研究院科技年报 学科 工学
关键词 扫描 控制技术 电子枪 控制工艺 稳定性 挡板
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 166-167
页数 2页 分类号 TP273
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研究主题发展历程
节点文献
扫描
控制技术
电子枪
控制工艺
稳定性
挡板
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
中国工程物理研究院科技年报
年刊
四川省绵阳市919信箱805分箱
出版文献量(篇)
2158
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