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摘要:
高功率固体激光装置中使用的部分大口径光学元件的需求精度已接近或超过了干涉仪检测极限,因而对大口径干涉检测的测量不确定度提出了更高的要求。针对大口径光学元件面形的检测准确性问题,对干涉检测的测量不确定度开展了研究,包括如下几个方面:
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文献信息
篇名 大口径干涉检测测量的不确定度
来源期刊 中国工程物理研究院科技年报 学科 工学
关键词 大口径光学元件 测量不确定度 干涉检测 高功率固体激光装置 检测极限 干涉仪
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 167-168
页数 2页 分类号 TL632
字数 语种
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2006(0)
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研究主题发展历程
节点文献
大口径光学元件
测量不确定度
干涉检测
高功率固体激光装置
检测极限
干涉仪
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国工程物理研究院科技年报
年刊
四川省绵阳市919信箱805分箱
出版文献量(篇)
2158
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