铜及其合金的化学抛光工艺研究

• 作者: 张婕 梁成浩 王鹏 郭承忠
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学抛光 H2O2-H2SO4体系 铜 铜合金
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TG175
• 字数: 2588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2006.06.017

摘要

对铜及其合金的化学抛光工艺及配方进行研究,通过正交试验得到了一组较好的铜及其合金化学抛光工艺配方.在此基础上讨论了抛光液各组分浓度、抛光温度以及抛光次数对抛光效果的影响.结果表明,经化学抛光后的铜及其合金表面光亮,达到镜面效果.抛光液维护方便、操作安全、无有害气体逸出,是一种理想的铜及其合金表面化学抛光工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张婕	大连理工大学化工学院	4	34	3.0	4.0
2	梁成浩	大连理工大学化工学院	132	1594	20.0	32.0
6	王鹏	大连理工大学化工学院	64	299	9.0	12.0
7	郭承忠	大连理工大学化工学院	4	22	3.0	4.0