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摘要:
磁控溅射钛靶靶面加工精度要求很高,采用一般砂轮磨削,砂轮粘附现象严重,磨削精度达不到设计要求.为此,通过分析钛的物理力学性质,设计制备了专用砂轮.其砂轮的磨粒组成及精度、硬度和粘结剂均与钛的性质相匹配.通过试验筛选确定了一组合适的磨削参数.其磨削速度v0=35 m/s,工件纵向进速度vw=12~15 m/s,砂轮径向进给运动单行程量fr=0.005 m/单行程.采用此参数进行磨削,钛靶靶面尺寸精度和粗糙度均可达到设计要求.
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文献信息
篇名 钛及钛合金平面磨削加工工艺研究
来源期刊 稀有金属快报 学科 工学
关键词 钛及钛合金 平面磨削 磨具 表面粗糙度
年,卷(期) 2006,(10) 所属期刊栏目 研发与应用
研究方向 页码范围 33-35
页数 分类号 TG5
字数 2059字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-3962.2006.10.008
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作者信息
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研究主题发展历程
节点文献
钛及钛合金
平面磨削
磨具
表面粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国材料进展
月刊
1674-3962
61-1473/TG
大16开
西安市未央路96号
52-281
1982
chi
出版文献量(篇)
4198
总下载数(次)
10
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