蓝宝石衬底上GaN薄膜的结构和光学特性表征

• 作者: 刘绪伟 赵剑涛 郜小勇
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 低压金属有机化学气相沉积 氮化镓 椭圆偏振光谱 干涉效应
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 1071-1074
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.033

摘要

采用低压金属有机化学气相沉积(LPMOCVD)法,成功地在(0001)晶向的蓝宝石(Al2O3)衬底上制备了高质量的GaN薄膜.并利用X射线衍射(XRD)谱和椭圆偏振光谱(SE)对其结构和光学特性作了表征.XRD谱中,在34.5°和72.9°附近出现了两个尖锐的衍射峰,分析表明这两个衍射峰分别对应纤锌矿(Wurtzite) 结构GaN薄膜的(0002)和(0004)晶向.其中GaN (0002)晶向衍射峰的半高宽(FWHM)很窄,只有0.1°左右,并且GaN(0004)晶向衍射峰强度很强,二者均证实了采用LPMOCVD法制备的GaN薄膜具有高的质量.在介电函数和反射谱中,GaN高的透明性(＜3.44eV)诱导了强的干涉振荡.室温下拟合出的表征带间跃迁的光学带隙约为3.44eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学材料物理教育部重点实验室	52	301	10.0	14.0
2	刘绪伟	郑州大学材料物理教育部重点实验室	10	49	4.0	6.0
3	赵剑涛	郑州大学材料物理教育部重点实验室	12	64	5.0	7.0