整合量测技术的新应用和定义

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 字数: 3858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2006.08.015

摘要

虽然工艺和良率控制离不开量测技术,但对于量测、整合量测、原位量测、原位传感器、工艺和设备传感器却没有形成统一的定义,因此存在严重的混淆.