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CN1542905一种金刚石涂层Al2O3电子陶瓷基片制备技术
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | CN1542905一种金刚石涂层Al2O3电子陶瓷基片制备技术 | ||
| 来源期刊 | 磨料磨具通讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 金刚石涂层 Al2O3 制备技术 陶瓷基片 电子 CVD技术 等离子体 气体混合物 | ||
| 年，卷（期） | mlmjtx_2006,（11） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 17 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TG711 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石涂层
Al2O3
制备技术
陶瓷基片
电子
CVD技术
等离子体
气体混合物
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期刊影响力
磨料磨具通讯
主办单位：
全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
河南省郑州市华山路121号
邮发代号：
创刊时间：
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出版文献量（篇）
5059
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