纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响

• 作者: 乔文明 声田龙也 张兴 张清光 曹炳阳 滕井丕夫 高桥厚史
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Pt纳米薄膜 热导率 晶粒尺寸 晶界效应 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 页码范围: 1207-1211
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.3|TK124
• 字数: 2418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2006.11.017

摘要

采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15--62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30 nm时,晶粒尺寸约为20 nm.受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值.