W/Ti合金靶材及其制备技术

• 作者: 储茂友 王星明 王赞海 赵鑫 郭奋
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射靶材 扩散阻挡层 热压
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 95-99
• 页数: 5页
• 分类号: TF1
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2006.01.021

摘要

介绍了W/Ti合金扩散阻挡层在集成电路布线技术中的作用及应用情况. 阐述了W/Ti合金靶材的特性参数-相对密度、微观结构、金属纯度, 与W/Ti合金薄膜性能之间的关系, 指出高密度、高纯度、富Ti相含量少的合金靶材是制备优良W/Ti合金扩散阻挡层薄膜的基本条件. 介绍了制备W/Ti合金靶材的3种方法-真空热压、惰性气体热压、热等静压, 并概述了不同方法制备的靶材性能上的差异, 给出制备高性能W/Ti合金靶材的工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭奋	北京化工大学教育部超重力研究中心	98	1828	24.0	38.0
2	储茂友		25	211	10.0	14.0
3	王星明		24	157	9.0	12.0
4	赵鑫		4	54	3.0	4.0
8	王赞海		3	34	2.0	3.0