脊形InGaN激光器的温度分布及其对器件特性的影响

• 作者: 叶晓军 张书明 朱建军 李德尧 杨辉 梁骏吾 种明 赵德刚 陈良惠 黄永箴
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: InGaN激光器 脊形波导 热模拟 阈值电流 斜率效率
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 499-505
• 页数: 7页
• 分类号: TN365
• 字数: 1608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.03.022

摘要

利用含时二维热传导模型分析了蓝宝石衬底上生长、制作的脊形InGaN激光器内波导层的温度分布和时间演化规律.由于较大的阈值电流和电压以及较差的衬底导热性能,脊形下波导层内会产生较高温升并在脊形内外形成较大的温度台阶.由于脊形波导的弱自建波导特性,这一温度台阶会对侧向模式的限制产生较大的影响.短脉冲工作下的时间分辨L-I测试以及时间分辨远场和光谱测试结果显示,脊形内外的温度台阶会改善波导对高阶模的限制,导致器件的阈值电流下降,斜率效率升高.而有源区的温升又会导致斜率效率的严重下降.