反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真

• 作者: 付红桥 张智海 张洁 闫许 陈伟民 黄尚廉
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 空间光调制器 光栅衍射 傅里叶光学
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.10.008

摘要

提出一种基于MEMS的光栅光调制器,可用于投影显示等相关领域.介绍了其结构、工作原理及其加工流程,对器件进行傅里叶光学分析.分析得出,器件单像素在±1级对比度和光学衍射效率最大值分别为1225和51.4%,形成阵列后理论上最大值分别为无穷大和81%.采用Coventor软件进行光学仿真,得到器件实际情况下衍射花样,器件由于残余应力以及器件下拉时静电力作用产生翘曲变形,光学性能有所降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	77	522	12.0	19.0
2	陈伟民	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	311	4748	37.0	51.0
3	黄尚廉	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	164	3610	34.0	51.0
4	张智海	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	38	198	9.0	12.0
5	付红桥	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	24	232	8.0	14.0
6	闫许	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	7	83	5.0	7.0