硅微陀螺仪的误差分析

• 作者: 施芹 朱欣华 苏岩 裘安萍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微陀螺仪 加工误差 不等弹性 正交误差
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2182-2185
• 页数: 4页
• 分类号: V2
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.230

摘要

以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号;以静电理论为基础,分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号.分析结果表明,这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号.最后,介绍了一种减小正交误差的方法,并进行了仿真.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏岩	南京理工大学机械工程学院	36	245	9.0	14.0
2	朱欣华	南京理工大学机械工程学院	27	168	7.0	11.0
3	裘安萍	南京理工大学机械工程学院	16	200	9.0	14.0
4	施芹	南京理工大学机械工程学院	13	167	9.0	12.0