迈克耳孙干涉仪在精密尺寸测量中的应用

• 作者: 翟秀云 陈明通
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉 量块 被测尺寸 尾数差
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: TM93
• 字数: 865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2006.12.002

摘要

应用物理学中的迈克耳孙干涉仪知识,介绍其在精密尺寸测量中的运用.即将被测物体尺寸与标准量块在迈克耳孙干涉仪上进行比较,然后通过测量尾数差,来确定两者的差值,从而获得被测物体尺寸的准确值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明通	攀枝花学院数理教学部	10	37	3.0	6.0
2	翟秀云	攀枝花学院机电工程学院	13	60	4.0	7.0