金属钽丝表面的X射线光电子能谱分析

• 作者: 李人哲
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 钽 XPS 原子浓度
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 564-566
• 页数: 3页
• 分类号: TG115
• 字数: 1711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2006.04.031

摘要

用X射线光电子能谱(XPS)对金属钽丝表面进行了分析和研究.通过XPS全程宽扫描和窄扫描,分析了钽丝表面的元素成分和钽的化学态.分析结果表明,钽丝表面的元素成分为Ta,C,O,F,S,Cl,P,Fe,Si,Ni,Cr,Ti,Nb,W,Al.对溅射5 min前后的Ta 4f峰进行曲线拟合,分别得到2个Ta峰和4个Ta峰,对拟合后各个Ta峰的相对位置进行分析,可以得出以上各个Ta峰的化学态;钽丝表面钽的化学态分别为,溅射前 Ta2O5 和Ta5Si3,溅射后 Ta,Ta2O5,Ta5Si3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李人哲	西北工业大学理学院应用化学系	3	15	1.0	3.0