面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感

• 作者: 任天令 刘理天 刘锋 杨晨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁氧体薄膜 电感 射频集成电路
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1930-1933
• 页数: 4页
• 分类号: TN6
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.165

摘要

采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RF IC电感的很有前景的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	刘锋	清华大学微电子学研究所	71	1218	20.0	33.0
4	杨晨	清华大学微电子学研究所	13	74	5.0	8.0