射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究

• 作者: 井晓天 盛敏 赵康
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 含氟羟基磷灰石 生物涂层 射频磁控溅射 钛合金(Ti6Al4V)
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 440-442,447
• 页数: 4页
• 分类号: TB39
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.03.030

摘要

本文采用射频磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)基体上制备出含氟羟基磷灰石(FHA)生物涂层,探讨该涂层组织结构,不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响.利用扫描电镜(SEM)观察FHA生物涂层的表面形貌,采用X射线衍射仪(XRD)分析涂层相结构,利用能量分散谱仪(EDS)分析涂层的Ca/P比.结果表明,随着氟含量的增加可大大提高涂层的晶化程度,制备的FHA涂层致密、均匀.700℃晶化处理的涂层结晶度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	井晓天	西安理工大学材料科学与工程学院	95	1111	19.0	27.0
2	赵康	西安理工大学材料科学与工程学院	101	737	16.0	22.0
3	盛敏	西安理工大学材料科学与工程学院	2	37	2.0	2.0