铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析

• 作者: 任天令 刘理天 刘锋 张筱 杨晨 王自惠
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电感 等效电路 铁氧体薄膜 射频集成电路
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 511-515
• 页数: 5页
• 分类号: TN409
• 字数: 1568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.03.024

摘要

针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感的L和Q在2GHz处分别提高了17%和40%.等效电路分析和测试结果均证明了铁氧体薄膜的引入对增强射频集成微电感性能的作用显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	刘锋	清华大学微电子学研究所	71	1218	20.0	33.0
4	杨晨	清华大学微电子学研究所	13	74	5.0	8.0
5	张筱	清华大学电子工程系	1	4	1.0	1.0