CCD图像法测量晶体光轴方向

• 作者: 李卫涛 李群 沈为民 邵中兴
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体光学 锥光干涉图 单轴晶体 CCD摄像机 光轴
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 485-488
• 页数: 4页
• 分类号: O436
• 字数: 2169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.04.038

摘要

提出了用CCD摄像机采集晶体锥光干涉图来快速精确测量晶体的光轴方向的方法.转动晶片使光轴的出露点形成圆形轨迹,通过最小二乘法对多个测试点拟合得到圆半径和圆心坐标.利用光轴垂直表面的晶片的锥光干涉图来确定数字图像中的距离与光线入射角的关系,使定标误差减小约一个数量级.分析了系统测量误差,提出了为保证测量精度需要采取的措施.对多片不同光轴取向的铌酸锂晶体进行了测量,误差小于0.1°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵中兴	中国计量学院光电信息工程系	11	77	4.0	8.0
2	沈为民	中国计量学院光电信息工程系	74	383	10.0	14.0
3	李卫涛	中国计量学院光电信息工程系	4	19	3.0	4.0
4	李群	中国计量学院光电信息工程系	1	2	1.0	1.0