Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性

• 作者: 刘艳美 周圣明 孙兆奇 宋学平 李爱侠 汪洪 苏凤莲
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 脉冲激光沉积 X射线衍射 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 302-305
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.022

摘要

用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的应力较小质量较高.ZnO薄膜有很强的紫外发光峰,紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关,并发现当衬底温度从300℃增到400℃时,紫外发射峰出现6nm的蓝移.