z轴硅微陀螺仪高精度闭环驱动研究

• 作者: 周百令 杨波
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微陀螺仪 闭环 自激驱动 解耦
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-8,15
• 页数: 5页
• 分类号: TN432
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2006.09.002

摘要

提出了一种z轴硅微陀螺仪高精度闭环驱动方案.该方案实现了闭环驱动的相角和增益条件的解耦;对相角进行了优化控制,消除了驱动频率和驱动模态固有频率的相对频差影响;利用闭环回路中直流控制量与驱动力间的非线性关系,实现闭环自激控制.试验结果表明,1 h内,驱动频率变化的均方差为0.009 Hz,相对变化量为2.2ppm(1ppm=10-6);驱动幅度变化的均方差为0.002 5 mV,相对变化量为15ppm;驱动信号的噪声功率谱密度低于-100 dB.由此可见,本方案使陀螺仪驱动性能得到了极大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程系	106	1086	17.0	23.0
2	杨波	东南大学仪器科学与工程系	74	553	13.0	19.0