基于等效电路法的微加速度计系统建模研究

• 作者: 王永泉 贺学明 陈花玲
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 加速度计 宏模型 等效电路 系统级模拟
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 820-824
• 页数: 5页
• 分类号: TH82
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2006.06.007

摘要

讨论一类硅微闭环电容式加速度计系统级动态模型的建模过程与方法.MEMS(micro-electro-mechanical system)快速有效的系统级模拟依赖于准确简洁的器件宏模型的建立.文中首先针对一种基本机电换能器件进行研究,利用二元函数的Taylor公式,建立器件偏置点附近增量信号间的线性关系,进而建立可用等效电路形式描述的器件宏模型.以此为基础,分别探讨传感器中检测和加力两类差动电容模型的建立方法及其与外部环境的联接,得到可利用电路模拟软件进行分析的系统级等效电路.通过仿真实例验证模型的正确性,并简要讨论系统的主要动态特性.这些工作为进一步的系统仿真和全局优化提供可靠的模型基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈花玲	西安交通大学机械工程学院	142	1688	22.0	34.0
2	王永泉	西安交通大学机械工程学院	38	352	11.0	18.0
3	贺学明	西安交通大学机械工程学院	2	11	2.0	2.0