微接触印刷法诱导沉积NH4Cl微图形结构

• 作者: 刘建平 夏坚 杨小敏 王卫
• 来源期刊: 华东交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微接触印刷 选择性气相沉积 微图形
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 基础科学
• 页码范围: 163-165
• 页数: 3页
• 分类号: TH163
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0523.2006.04.046

摘要

以聚二甲基硅氧烷有机硅橡胶(PDMS)为弹性印章,十八烷基三氯硅烷(OTS)的正已烷溶液为"墨水",用微接触印刷技术使普通显微盖玻璃基片表面形成诸多具有不同浸润性的图形化微区,将基片放入氯化铵气体中沉积形成氯化铵微图形结构.讨论了沉积时间、基片表面预处理方式对微图形精细度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王卫	华东交通大学化学化工系	9	64	5.0	8.0
2	刘建平	华东交通大学化学化工系	43	303	10.0	15.0
3	杨小敏	华东交通大学化学化工系	34	281	10.0	15.0
4	夏坚	华东交通大学化学化工系	17	111	6.0	10.0