自适应压电式移相器的研究

• 作者: 单世宝 陈道炯 韦光辉 高春雨
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 压电陶瓷 移相器 自适应控制 柔性铰链
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1027-1031
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.3+3
• 字数: 2767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.014

摘要

移相器是移相干涉仪中的重要部件,压电式移相器由于分辨力高、响应快、控制容易而被大量采用.但压电陶瓷的非线性误差与位移量小,一直影响其应用范围的扩大.针对该问题,从压电式移相器机构与扩展方法入手,设计了具有放大特性的柔性铰链式移相器.采用单神经元(Proportional sum derivative,PSD)控制算法,实现微驱动定位的自适应实时控制,改善了非线性,降低了环境干扰的影响,提高了压电式移相器的性能.所设计的压电式移相器用3组压电陶瓷堆驱动,可用于φ100 mm孔径镜片,位移行程达30μm以上.实验验证该方法有效,控制精度达0.01 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈道炯	上海理工大学机械学院	37	212	8.0	12.0
2	单世宝	上海理工大学机械学院	9	71	5.0	8.0
3	韦光辉	上海理工大学机械学院	7	65	4.0	7.0
4	高春雨	上海理工大学机械学院	4	10	2.0	3.0