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半导体设备制造新走势
半导体设备制造新走势
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摘要：
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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
半导体制造设备预维修调度的知识进化算法研究
半导体
制造设备
预维修调度
知识进化算法
半导体芯片制造调度并行蚁群算法研究
半导体芯片制造系统
蚁群算法
鱼群算法
并行计算
实践教学引进“半导体制造技术”课堂中的重要性
半导体
制造技术
实践教学
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期刊影响力
电子技术
主办单位：
上海市电子学会
上海市通信学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-0755
CN：
31-1323/TN
开本：
大16开
出版地：
上海市长宁区泉口路274号
邮发代号：
4-141
创刊时间：
1963
语种：
chi
出版文献量（篇）
5480
总下载数（次）
19
总被引数（次）
22245
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